Augerelektronenspektroskopie (AES)
AES ist eine Oberflächenanalzsetechnik zur chemischen Analyse (Elementaranalyse) von Proben. Die Augerelektronen die beim Beschuss mit einem Elektronenstrahl generiert werden haben eine sehr geringe Austrittstiefe von der Oberfläche wodurch nur Information von den äußersten Atomschichten erhalten wird. Normalerweise werden die äußersten 10 Atomschichten einer Probe untersucht. Die Tecknik ist sehr effektiv für hochauflösende Analyse von Oberflächen (0.01 µm bis 100 µm) und um Verunreinigungen zu entdecken.
Die Technik kann mit abtragendem Sputtern kombiniert werden wo wechselweise eine Schicht analysiert und dann abgetragen wird wodurch ein Tiefenprofil der chemischen Zusammensetzung von der Oberfläche einer Probe entsteht.
Die Methode wird verwendet um die chemische Zusammensetzung von Nanopartikeln, dünnen Oberflächenschichten, Passivierungsschichten und Verunreinigungen zu bestimmen.
Ergebnis (Beispiel)
Tiefenprofil einer Oxidschicht