Sekundärjonmasspektrometri (ToF-SIMS)

Tekniken möjliggör analys av den kemiska sammansättningen hos mycket tunna skikt/filmer  och fasta ytor på små prover. Vid sekundärjonmasspektrometri sputtras provytan med galliumjoner. När dessa träffar provytan stöts joner och molekylfragment från provets allra yttersta atomlager ut och genom att analysera de utsända jonerna och molekylerna bestäms ytans sammansättning mycket exakt.
Tekniken kan med fördel kombineras med en avverkande sputtring. I detta fall sker en växelvis sputtring och analys. Genom en mängd avverkningar och analyser erhålls en djupprofil av den kemiska sammansättningen från ytan och djupare in i provet.